1、含氟废气的净制

吸附法

该法是以粉状的吸附剂吸附废气中的氟化物。该净化方法首先是烟气与吸附剂的接触，完成吸附过程;二是烟气与吸附剂分开。该过程都是在吸附设备中完成的。

特点：净化效率高、工艺简单、没有水的二次污染，也不受各种气候的影响，但净化设备的体积较大。

吸收法

该法是用水、减性溶液或某些盐类溶液来吸收含氟废气中的氟化物，从而达到净化回收的目的，同时还可以得到副产品氟硅酸、冰晶石、氟硅酸钠及氟硅脲等。

水法吸收和碱吸收法是常用的两种方法。

特点：净化工艺过程可以连续操作和回收各种氟化物，净化效率高、效果好；其缺点是会造成二次污染，在寒冷地区还需保温措施。

稀释法

是向含氟气体的厂房送新鲜空气或将含氟废气向高空排放进行自然稀释。这种方法一般不采用。

2、含氯废气的净制

含氯废气的治理主要是通过湿法来净化，一般是采用化学中和法、氧化还原法等过程对废气进行吸收，作到综合利用。

碱液中和法

即以碱液作为吸收液对氯气进行吸收，常用的吸收剂有氢氧化钠溶液、碳酸钙溶液、石灰乳溶液等。

硫酸亚铁或氯化亚铁吸收法

该方法以氯化亚铁或硫酸亚铁作为吸收剂，据氧化还原反应性质对氯气进行回收与净化。其工艺设备可采用填料塔，并以废铁屑作填料，生产的三氯化铁可作为防水剂，三价铁可被铁屑还原，再次参与吸收反应。

特点：该方法设备简单，操作容易，废铁屑来源丰富，技术合理；但反应速度比中和法要慢，效率较低。