工业废气处理消除法包括热氧化、催化燃烧、生物氧化和集成技术。工业废气处理去除方法主要是利用热量、催化剂和微生物，通过化学或生化反应将有机物转化为CO2和水。

热氧化工业废气处理

热氧化系统是燃烧去除有机物的火焰氧化剂，工作温度为700~1000度。这必然导致高燃料成本。为了节省燃料费用，需要从离开氧化剂的废气中回收热量。

回收热量的方法有两种:传统的分区传热和新的不稳定热存储技术。隔膜热氧化可以通过管式或平板型隔膜换热器捕捉净化废气的热量，回收40%~70%的热能，并用恢复的热量预热进入氧化系统的有机废气。预热后，废气由火焰达到氧化温度并净化。分区热交换的缺点是热回收效率不高。

RTO蓄热式焚烧设备为了恢复热量，采用了新的不稳定传热模式。主要原理是有机废气和精制废气交替循环，热量多次持续改变流动方向，捕捉到最大范围。蓄热系统通过蓄热式热氧化/催化燃烧提供高热能恢复。在特定周期内，含有VOC的有机废气进入RTO系统，首先进入耐火再生床(由上一周期的精制气体加热)，废气从床上吸收热能，提高温度，进入氧化室。VOC在氧化室氧化为CO2和H2O，废气净化。氧化后的高温精制气体离开燃烧室，进入另一张冷再生床，从精制废气中吸收热量并储存(用于在下一个循环中预热进入系统的有机废气)。并降低精制废气的温度。过程进行一段时间后，气体流动方向反转，有机废气从床上进入系统。这个RTO蓄热式焚烧设备循环持续吸收和释放热量，作为工业废气处理热陷阱的再生床在入口和插座的工作模式下持续变化，热回收率为95%，VOC去除率为99%。