等离子体点火和爆炸主要是由电场短路产生的电火花、高压产生的电弧等引起的。引爆废气，因此等离子体适用于处理低浓度废气。此外，设备应每月抽出一次等离子设备的一级电极组件进行全面清洗，并视情况每三个月至六个月(zui长期限为六个月)抽出一次等离子设备的所有电极进行全面清洗。
 
　　RTO催化燃烧爆炸的主要原因是进气浓度和进气量高于设计上限，导致燃烧室温度在短时间内急剧上升。工业废气处理设备高温废气和高浓度有机废气的混合将导致RTO排放口的爆炸。如果进气口没有安装阻火器，进气管会着火。
 
　　如果采用活性炭吸附工艺或活性炭吸附解吸催化燃烧工艺，应控制活性炭罐的温度，避免活性炭自燃。吸附解吸催化燃烧过程应配备氮气保护功能。
 
　　再生催化燃烧着火爆炸的主要原因是废气浓度过高。有机废气处理的浓度应控制在爆炸极限的25%以下。应安装一个具有可靠灵敏度的温度和浓度测量装置，并应安装一个带有野生空气阀的辅助空气冷却器。为防止有机废气在催化床燃烧时火焰蔓延，应在废气净化装置进入前安装阻火器。净化装置点火前，应使用空气吹扫风道燃烧室等。消除可能积聚在这些部件中的可燃气体，防止点火过程中发生火灾和爆炸。如果设备内存在积聚的污油、冷凝液等可燃物质，工业废气处理设备受热时会气化成易燃易爆气体，因此在点火前应清除这些物质，点火时应使用火等气体，而不是火等气体。